LVS验证显示MIM电容“missing instance”并且两端短路

刘兴国

       最近在练习导师布置的一个入门任务，用的是SMIC的.13um工艺，前仿和版图已经画完。但是LVS验证出现了问题，结果显示所用的电容找不到，并且附带的有几个端口连接不正确。结果如下图所示，有四个错误显示电容未找到，有两个错误是与电容相连的线发生错误。

LVS结果

观察Detailed Instance Info，也显示版图中某个电阻的pos端连接的net12网络匹配不上。点开net12网络，则会发现CM1电容（也是上图找不到的那个）两端的连线会显示同一网络。感觉结果是，在LVS验证时没有识别出电容，并把电容当成了短路。

Detailed Instance Info内容

如果我把电容一端连线断开，再次LVS验证则显示有4个错误，而且都是电容未找到。

断开电容一端后的LVS结果

我感觉是不是LVS验证规则文件里屏蔽了电容的信息，直接将电容当成了导线处理，因为我换了MIM3的电容，同样显示未找到和两端短路，但是也不排除我有没排查出来的走线错误。
希望高人指点一下，找了一天也没找到原因。

吐血ing

刘兴国

   

IC菜鸟plus 发表于 2020-6-16 15:02
楼主  问题是怎么解决的呀   
我遇到了你相同的问题

https://zhuanlan.zhihu.com/p/87398682 你看这个文章能不能解决问题

刘兴国

   

IC菜鸟plus 发表于 2020-6-16 15:02
楼主  问题是怎么解决的呀   
我遇到了你相同的问题

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genehuang

看看lvs文件里是否有设置mim电容的option，先确认文件正确

遥山螟

确认一下电容的symbol自己是否有不小心动过；单独看单个电容的上级板和下极板是否是分开的；把电容换成导线看LVS验证结果是否有变化验证下是不是把电容给short了；先排除基本的错误。

遥山螟

看LVS结果layout没认到这几个电容，确认下这种电容的是不是有识别层相关的问题

遥山螟

也可以单独验证下电容，看是否可以认到这个device

刘兴国

   

遥山螟 发表于 2019-10-16 16:42
确认一下电容的symbol自己是否有不小心动过；单独看单个电容的上级板和下极板是否是分开的；把电容换成导线 ...

我直接从原理图中导入的电容，打散过一个看过里边的结构，但是四个都找不到，应该不是动过的问题。我换成导线试试！

刘兴国

   

遥山螟 发表于 2019-10-16 16:47
也可以单独验证下电容，看是否可以认到这个device

嗯，我单独验证一下电容试试！

sanmuyang

楼上说得对，应该就是mim电容的option没有打开

sanmuyang

mim电容认作短路的原因可能是，mim电容两极以M5、M6为例，M5、M6之间有V5孔和mim层，mim电容的两端应该是M5作为一端，M6通过V5孔连接mim层作为另一端，没有打开mim电容的option的话就会被认为M5、M6之间短路（实际上不会短路，因为有mim层隔着）

刘兴国

   

sanmuyang 发表于 2019-10-18 09:31
mim电容认作短路的原因可能是，mim电容两极以M5、M6为例，M5、M6之间有V5孔和mim层，mim电容的两端应该是M5 ...

请问哪个选项是打开电容呢？