芯片金属连线的材料是什么

wyg8871 · 发表于 2019-10-8 16:14:59

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求助：现在芯片金属连线的材料是什么？28到95nm和7到16nm的连线材料都一样吗？之前听说低层metal是铜，top metal是铝，是这样吗？但是我看着网上有人说metal都是铝了，求大神给讲一下

aiden_wang · 发表于 2019-10-8 16:44:22

以前老的工艺下一般用铝，之前在芯愿景看过他们剖的片子，互连线材料是铜，过孔一般用钨。

chenyongfus · 发表于 2019-10-15 17:24:56

0.13 以上一般是AL线. 从0.13 开始, 一直到14nm 都是Cu线. pad 还是AL

challengersy · 发表于 2021-7-26 09:20:05

好像记得打到poly的过孔是钨，请问其他金属层互联的过孔是什么材料呀？

bing_bing · 发表于 2021-7-27 14:18:18

去看看PDK 文档具体都有每一层的具体成分一般都是al或者cu 站大部分）不会是百分百al cu 至于top 设计规划的时候自己去选

qq416675763 · 发表于 2021-11-2 16:06:48

bing_bing 发表于 2021-7-27 14:18
去看看PDK 文档具体都有每一层的具体成分一般都是al或者cu 站大部分）不会是百分百al cu 至于top ...

想请问一下具体在PDK什么文档里面吗？我只找到了每层的厚度，什么材质好像没有。。。

bing_bing · 发表于 2021-11-3 19:57:42

类似这样子的吧 PDk文档就那么多逐个去看就是了阅读文档找东西也是一种能力

CmosLgh · 发表于 2021-11-3 20:25:02

bing_bing 发表于 2021-11-3 19:57
类似这样子的吧 PDk文档就那么多逐个去看就是了阅读文档找东西也是一种能力 ...

锻炼快速阅读文档的能力赞同一个！

xyf333 · 发表于 2023-5-24 16:39:19

bing_bing 发表于 2021-11-3 19:57
类似这样子的吧 PDk文档就那么多逐个去看就是了阅读文档找东西也是一种能力 ...

你好，想问下这份文档是哪一类型的文书呢？DRC文档吗？

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