contact和via的区别？

perfectguo · 发表于 2019-8-5 15:57:09

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请问大家coms中contact和通孔via除了连接的层不一样，一个是金属层到poly或者有源区，另一个是金属层之间，他们的制造工艺和材料都差不多，其他还有什么区别呢？

远上寒杉 · 发表于 2019-8-5 16:21:46

Re: In VLSI, what is called via and contact?

Contact is connection to source, drain or poly. While vias is used to make connection between two metal layers. Both vias and contact are formed using metals. Vias are generally made of tungsten while contact is made using aluminum.

https://www.edaboard.com/showthr ... led-via-and-contact

jamesccp · 发表于 2019-8-6 17:46:16

via是M1以上，同种金属。CT是金属对AA/po，材料不一样，叫做欧姆接触。

perfectguo · 发表于 2019-8-7 14:22:00

jamesccp 发表于 2019-8-6 17:46
via是M1以上，同种金属。CT是金属对AA/po，材料不一样，叫做欧姆接触。

谢谢你的解答！我理解的欧姆接触应该是在有源区上面的一层，而contac应该是金属跟poly或者有源区之间的连接，contact实际上是连接在欧姆接触层上面的，这样理解对吗？

perfectguo · 发表于 2019-8-7 14:25:40

远上寒杉发表于 2019-8-5 16:21
Re: In VLSI, what is called via and contact?

Contact is connection to source, drain or poly. W ...

Thanks,your answer is helpful for me.

lijie5992373 · 发表于 2019-8-7 14:43:57

perfectguo 发表于 2019-8-7 14:25
Thanks,your answer is helpful for me.

28/40nm Contact 都是W，而Via都是用Cu做连接，他发出来的应该是比较久的制程

perfectguo · 发表于 2019-8-7 15:19:58

lijie5992373 发表于 2019-8-7 14:43
28/40nm Contact 都是W，而Via都是用Cu做连接，他发出来的应该是比较久的制程

哦哦，谢谢！

Cactuszhang · 发表于 2020-3-28 10:37:40

:):):):)

昱矽 · 发表于 2020-3-28 22:28:10

contact 特指poly到M1
via指Mx到Mx-1或者Mx+1
一般工艺via的接触阻抗小于contact
design rule里面有描述可以自己读一读

ic-lin · 发表于 2020-11-28 11:58:29

学习了，谢谢

[原创] contact和via的区别？

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