关于off grid的问题

qijiaji

目前使用工艺画的版图一直不在推荐的grid上，但是工厂也让生产了。到目前一直没有什么问题，可是心里总是有个疙瘩。有没有比较了解grid的作用的大牛，可以讲解下grid的作用？

自渡

可以不用管的，可以理解为版图精度

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楼主你说的不在格点上是DRC直接报error出来了吗？
是否人为改过DRC中的原始精度设定？一般来说代工厂会帮忙跑一次DRC的，如果有必须要解决的问题是会有反馈的，你这都生产了还担心啥，不会有啥明显影响的

石头遇见雪

额，offgrid这个错误不是必须要解决。例如Nwell 在PDK里面给出的最小格点是0.01，而你版图所用的格点是0.005.当然会报offgrid DRC。这个问题必须要解决的。可以理解为，你画的版图工艺都制造不出来。

qijiaji

这个问题经过和工艺厂的讨论，得到的结果在这里记录下。希望能给有相似疑问的朋友一些帮助。其实能不能生产决定于MASK工厂的精度，MASK工厂的精度如果在画图格点精度以下是可以生产的。这也是为什么工厂同意我们生产的原因。

yesoili

我来回答以下吧：
offgrid的情况在Si线和在三五组线其实是不一样的。
从有源无源器件的形貌上，Si线的所有器件结构基本上都是方块组成的，顶多允许一个45度折线，当它所有器件边沿锁定grid之后，如果更换工艺，那么只要调整PCell去同步grid，就可以做到很快通过版图直接更换工艺，这样子不需要再画多余的时间再重新布模拟和数字的版图和设计，比如把0.045工艺改成0.015工艺，可以在Pcell中设置与grid相关的函数skill去设置批量转换。
另一方面，在Si线上器件阵列数量巨大，导致查阅器件是否满足生产要求比较困难，万一有偏移的，无法保证它的相对间距都是可以生产的。所以，为了省事，所以全部用grid来定义死器件。
但是，从三五族的角度来说，offgrid就是多余的。因为可以用merge全部器件来解决版图精度识别问题，从grid的本质上来说，它的存在是为了器件工艺生产服务的，假如工艺无法满足0.01的相对间距，工艺就无法生产。
那么这里的grid0.01其实是PCell相对间距，PCell出厂的时候一定是过完check的，也就是说，PCell一般都是远大于grid的相对值，比如设置2.5，2.0这类的间距，那么它就一定可以生产，就算通过连线连接，比如连接线从原本理想的100，变成了100.001，甚至超出工厂定义的grid线，只要它没有超过光照厂的识别精度，它的精度都是能保证的，而且就算真超过了光照精度也没关系，都到了这么小的精度了已经是远远小于grid的值了，它的工艺出现这么一点识别造成的偏移，根本就不会影响到器件本身了。
你生产一个1.0的器件和你生产1.000001的器件它的电性能会有差别么？Si线要注意这个也是因为超小制程才需要关心，因为器件已经逼近了光罩的精度，这种情况下的近似是会稍微微影响一点小小的电性的，但是还是不影响正常生产。
而且，关键的是在cadence中grid定义是绝对坐标，而不是相对坐标。也就是说，就算你的PCell全部满足工艺生产的精度，只要你版图精度没设置在grid大小或超过grid大小，它就肯定会报错。
但是，这种报错本身就是无效的，你还需要merge之后再强行focus到 grid线上。
grid的本意是检查是否能够进行工艺生产，理论上来说，只要光照mask到达的精度，工艺就都能够生产。经常位移和锁定grid还有可能导致“空隙”的出现，所以为了防止这个问题，流版之前一定要merge全版，防止连接线断链。
但是已经merge的版图，它的相对间距已经是完全满足工艺标准的grid识别了，为什么cadence还会报错？
因为cadence定义的grid是绝对位置，而不是相对位置。这个时候，要么你把原点锁定到pin点来解决这个问题，要么全版强行focus到grid上。
但是，在工艺已经能够正常生产的条件下做这个事情，本身就是多余的。而且还会造成PDK编写困难的问题，毕竟三五组器件和Si线器件可不一样的，它的形状多变，在器件端会有更多的圆弧还有切角，以及各种tab的小旗子之类的。
所以，三五族线为了和Si线对标去做这个grid的定义本身就是很多余的事情，而且还会给自身的制程和PDK的编写造成问题。三五族的制程精度和Si比还是差的很远的，也远没有达到grid会影响mask精度的点上，更不用提超越mask精度去影响电性的问题了。本身模拟射频的版图器件数就少，不断连比grid重要多了，与其挪来挪去，不如索性不动。
因为设置了版图的grid之后，很多器件很难画，而且很多控件会自动锁定到绝对grid上去，导致相对grid反而难画了。

对于二者来说，电感都是一个比较难以全部控制在grid线上的器件，所以无论是Si线还是三五族线，都会把电感的grid线要求bypass掉，尤其是圆形电感的识别。
这个是个可选项的鸡肋，就只对小制程的Si线起点作用。

一芯求精

我们老大说只要设置的精度比最小精度大就行

王玉

学习了