半导体光刻设备基础是光学(Zemax软件下载)

sinowarrior · 发表于 2019-5-27 08:49:38

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关于深DUV光刻系统光学设计的博士论文。它使用Zemax仿真软件进行光学系统。镜片由水晶制成，水晶的方向很重要，001,010,011
http://www.neoblackpanther.com/materials/as_serebriakov_20051005.pdf

Zemax软件可以从这里下载。我使用该软件，它非常强大，能够根据个人镜头材料，尺寸和距离模拟各种光学配置，并获得最终分辨率。
下载并解压缩并阅读说明如何使用它。它包括永久使用许可
http://www.neoblackpanther.com/materials/Zemax.zip

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ASML光刻设备的所有关键光学元件均由Carl Zeiss提供。光学系统中的单个镜子和镜头是涂有50多层材料的薄膜。

felicris · 发表于 2020-7-24 16:19:54

Thanks

[资料] 半导体光刻设备基础是光学(Zemax软件下载)

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