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Contents
1 Introduction. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1
Hideto Hidaka
2 Applications and Technology Trend in Embedded
Flash Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7
Hideto Hidaka
3 Overview of Embedded Flash Memory Technology . . . . . . . . . . . . . . 29
Takashi Kono, Tomoya Saito and Tadaaki Yamauchi
4 Floating-Gate 1Tr-NOR eFlash Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Antonino Conte, Fabio Disegni, Francesco La Rosa
and Alfonso Maurelli
5 Split-Gate Floating Poly SuperFlash® Memory Technology,
Design, and Reliability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
Nhan Do, Hieu Van Tran, Alex Kotov and Vipin Tiwari
6 SONOS 1Tr eFlash Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 179
Hidenori Mitani and Ken Matsubara
7 SONOS Split-Gate eFlash Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 209
Takashi Ito and Yasuhiko Taito
Index . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 245
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