28nm制程的版图技巧有哪些

swords1985 · 发表于 2022-3-17 15:07:06

低压mos的poly方向必须垂直于die，这个会有drc去检查。不同电压器件之间的信号连接，需要标上电压差，这个也会有drc回去检查。

微笑向暖 · 发表于 2022-7-21 17:16:46

swords1985 发表于 2022-3-17 15:07
低压mos的poly方向必须垂直于die，这个会有drc去检查。不同电压器件之间的信号连接，需要标上电压差，这个 ...

请问为什么要保持低压mos poly方向一致性，不一致有什么危害吗

martinlyj · 发表于 2022-7-24 09:07:13

微笑向暖发表于 2022-7-21 17:16
请问为什么要保持低压mos poly方向一致性，不一致有什么危害吗

流片验证过，不一致也有功能，可能会影响性能和良率吧，毕竟违反了DRC规则整版低压管竖放，包括podummy，宽度小的都只能竖放；po只能画矩形；po电阻尤其是大面积的po电阻，电阻之间的oddummy面积要够，否则局部密度不能达到要求；重要部分dfm开关需要打开

Layout_Blue · 发表于 2022-8-7 07:38:59

poly要方向一致是因为，你旋转过后晶格的晶向就不一样了，不一样的晶向mos的性能也不一样

Layout_Blue · 发表于 2022-8-7 07:41:15

小工艺存在fin的，fin的方向是固定的，用来确定确定mos的尺寸的

Zzx.ime · 发表于 2023-7-6 19:37:25

martinlyj 发表于 2022-7-24 09:07
流片验证过，不一致也有功能，可能会影响性能和良率吧，毕竟违反了DRC规则整版低压管竖放，包括podummy， ...

请问28nm 的poly电阻的poly方向要注意吗，调出来的版图能不能转向90°？

cherry_li · 发表于 2023-7-7 10:35:12

PO方向一致主要是28nm以下 core device implant 固定方向打的，所以必须按照统一方向放置，DRC硬性规定，不能随便waive。

XXHHJJ · 发表于 2023-7-10 11:32:56

Zzx.ime 发表于 2023-7-6 19:37
请问28nm 的poly电阻的poly方向要注意吗，调出来的版图能不能转向90°？

poly电阻是没关系的，这里说的poly主要是mos管的栅极方向

swords1985 · 发表于 2023-11-30 10:23:25

微笑向暖发表于 2022-7-21 17:16
请问为什么要保持低压mos poly方向一致性，不一致有什么危害吗

因为器件的gate比较小了，如果方向不一致在刻蚀的时候侧方向和横方向的刻蚀不一样，这样精度会相差比较大。

jyh_happy · 发表于 2023-12-6 17:24:12

28nm以下版图更加放飞自我。drc更严格，满足drc就可以了

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