版图设计时impant region和 diffused region 的区别

yanpflove · 发表于 2022-11-1 13:46:45

vszombie 发表于 2022-11-1 12:02
你好，能否请教下目前CMOS工艺的晶圆到底是用的多晶硅还是单晶硅？是不是早期用多晶硅，现在因为一些原因 ...

你好，晶圆是单晶硅常见的硅基的半导体工艺用的晶圆都是单晶硅
我没听过多晶硅能做晶圆

Williams00 · 发表于 2022-11-1 14:11:06

支持一下

vszombie · 发表于 2022-11-1 14:39:17

yanpflove 发表于 2022-11-1 13:46
你好，晶圆是单晶硅常见的硅基的半导体工艺用的晶圆都是单晶硅
我没听过多晶硅能做晶圆

哦，应该是栅极是多晶硅

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