Metal dummy

电小白 · 发表于 2018-9-12 17:47:56

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

请教各位大侠，在APR阶段加入dummy metal的作用都有哪些

qq94043 · 发表于 2018-9-13 09:37:45

APR阶段满足density check吧还可以减小SI的影响
如果不对请指正 thx

夏雨123 · 发表于 2018-9-17 09:43:38

学习一下。、

songhao · 发表于 2018-9-17 14:08:05

满足metal的密度要求，工艺光刻对密度有要求，过高和过低都不行

SpunkyGG · 发表于 2018-9-19 17:10:52

DRC要求，以及方便工艺刻蚀

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] Metal dummy