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查看: 1862|回复: 4

[求助] Metal dummy

发表于 2018-9-12 17:47:56 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教各位大侠，在APR阶段加入dummy metal的作用都有哪些

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发表于 2018-9-13 09:37:45 | 显示全部楼层

APR阶段满足density check吧还可以减小SI的影响
如果不对请指正 thx

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发表于 2018-9-17 09:43:38 | 显示全部楼层

学习一下。、

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发表于 2018-9-17 14:08:05 | 显示全部楼层

满足metal的密度要求，工艺光刻对密度有要求，过高和过低都不行

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发表于 2018-9-19 17:10:52 | 显示全部楼层

DRC要求，以及方便工艺刻蚀

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