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[求助] csmc 0.6um的工艺参数,怎么从这些参数里求出 μncox 和 μpcox??

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发表于 2018-8-31 09:28:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

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x
section ss

parameters

+toxn = 10e-10

vthn = 1.52e-1

xln = 1.84e-7

+xwn = -1e-7

cjn =4.35e-5

cjswn = 3.6489e-11

+cgdon = 2e-11

cgson = 2e-11

cjswgn = 2.00e-15

+toxp = 10e-10

vthp =-1.9e-1

xlp =7.7e-8

+xwp = -1.0e-7

cjp =8.208e-5

cjswp = 4.177e-11

+cgdop = 1.0e-11

cgsop = 1.0e-11

cjswgp = 2e-15

+toxln = 10e-10

vthln =0.1

xlln = 0.06e-6

+xwln = -0.08e-6

cjln= 4.35e-05

cjswln = 3.65e-11

+cgdoln = 2.00e-11

cgsoln = 2.00e-11

cjswgln = 2.00e-15

+toxlp = 10e-10

vthlp = -0.1

xllp= 0.06e-6

+xwlp = -0.08e-6

cjlp= 8.2e-5

cjswlp = 4.10e-11

+cgdolp = 1e-11

cgsolp = 1e-11

cjswglp = 2e-15

include "s06mixddct10v04.scs"section=spectrebase

include "s06mixddct10v04.scs"section=deptt

include "s06mixddct10v04.scs"section=bjt

endsection ss



csmc 0.6um的工艺参数,怎么从这些参数里求出 μncox  和  μpcox??
发表于 2018-9-4 11:35:23 | 显示全部楼层
si的介电常数ε=34.9*10~-12
toxref  u0
Cox=ε/toxref
k=u0 *Cox
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