SMIC 018工艺MIM电容尺寸设置不被允许

单眼皮的乖女孩 · 发表于 2018-7-30 21:31:30

您需要登录才可以下载或查看，没有账号？注册

×

我看到SMIC的PDK中明明标有1fF的设置，也在其他帖子中见过，为什么我设置不成？
微信图片_20180730212902.png

所以哪位朋友解释一下这是什么原因呢

这是PDK的截图

月夜之狼 · 发表于 2018-7-31 09:34:50

警告不是很明显吗

Albert潮 · 发表于 2018-7-31 09:35:02

有最小尺寸限制的，手册里说的只是它的电容面密度而已

单眼皮的乖女孩 · 发表于 2018-7-31 10:30:47

回复 3# Albert潮

谢谢，那电容就不能做到1fF了吗？按照它的尺寸限制，最小电容要220fF左右。如何实现1fF左右的电容呢？谢谢

单眼皮的乖女孩 · 发表于 2018-7-31 10:33:34

回复 2# 月夜之狼

可是，它的最小尺寸确定的电容值远远大于我想要的1fF，如何做出小电容呢？前仿先用理想电容代替，版图的时候自己画吗？谢谢

rayhardenne · 发表于 2018-7-31 11:15:38

1fF的电容，用金属寄生就可以实现了

pdauser1002 · 发表于 2018-7-31 13:32:21

即使在最先进的工艺下，1fF 级的电容绝对准度仍然很不容易控制

单眼皮的乖女孩 · 发表于 2018-7-31 13:35:02

回复 6# rayhardenne

谢谢

单眼皮的乖女孩 · 发表于 2018-7-31 13:37:13

回复 7# pdauser1002

谢谢，我看到已经毕业的一个师哥用的xfab018工艺，他做的ADC单位电容采用的4fF，我想用他的架构，但是这个电容实在太大了。

pdauser1002 · 发表于 2018-7-31 13:53:53

用在ADC的电容绝对准度大概不是那么重要，
如果用MIM 或MOM （都是金属寄生电容），而且用单位电容凑成不同大小的电容应该就可以了。

账号		自动登录	找回密码
密码			注册

[求助] SMIC 018工艺MIM电容尺寸设置不被允许