Lg = 45nm in 90nm process?

yuanpin318 · 发表于 2007-9-7 17:22:08

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Some one told me that, in 90nm, Lg = 50nm, any one knows what Lg means.

Someone told me Lg is physical dimension of gate, I can't understand.

luckyant · 发表于 2007-11-29 19:38:06

先顶一下先顶一下

pedro888 · 发表于 2007-12-24 10:53:18

thanks for your information......................... thanks..............................................................

strangercjf · 发表于 2008-1-10 13:54:04

drawn length就是指layout或mask上的，在90nm里就是90nm
而physical length指实际生产出来的chip上device的CD，因为实际工艺中photo和etch都会使实际的gate length变短，所以你会看到说50nm左右的physical gate length

keroppi · 发表于 2008-2-28 10:31:56

Lg 鷹該是有效的通道長度吧因為把 N+ P+ 製作出來的時候其實一定不是垂直的而是會凸出來一點這會造成通道長度下降也就是所謂的 short channel effect

myings · 发表于 2010-9-14 05:27:53

Lg一般指的是layout画的大小尺寸，楼主所说的90nm的50nm device应该是SEM量出来的物理尺寸

yuanpin318 · 发表于 2010-11-10 14:12:38

draw length和physical length相差有这么远？那么spice simulation会补偿吗?

zhh124 · 发表于 2010-11-12 17:43:45

应该是沟道长度吧? 标准的90nm的工艺的沟道长度应该就是90nm, 但各家foundary都不一样,有出入,不过intel应该就是这个数. 沟道长度也可以做小, 有某foundary的90nm工艺沟道长度只有~30nm,对外宣称是90nm工艺.

accel30 · 发表于 2010-12-14 12:37:37

thanks

chocolate827 · 发表于 2010-12-16 02:23:07

受教了~~~~~

Lg = 45nm in 90nm process?

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