窗口的金属密度

lianaissmec · 发表于 2018-5-30 14:00:33

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流片时，我们申请了一个5000umX5000um的窗口，在这个窗口中，放置了很多颗芯片，每个芯片能够满足金属密度的要求，但是当做整个窗口的DRC验证时，不满足金属密度的要求，请问大家一下，整个窗口不满足金属密度的要求有什么问题吗？

110006 · 发表于 2018-5-30 14:42:37

metal density会影响metal刻蚀的精度。你这种情况应该是芯片之间的空白导致的金属密度不够？这种可以加dummy解决吧。

motofatfat · 发表于 2018-5-31 11:08:03

或是讓晶圓廠去補

东北汉子 · 发表于 2018-5-31 16:55:38

应该工艺厂会去加的

hilary717 · 发表于 2018-5-31 17:27:38

如果空白太多的话，就需要你或者工艺厂去加dummy，如果不加dummy的话，会影响整个流片的平整度，可能对器件的性能有一定的影响！

powerboy711 · 发表于 2018-5-31 22:13:10

每颗芯片DRC金属密度验证，过了就可以了，整个窗口包含多个芯片和中间的S/L,去做金属密度验证并没有意义。

uestcxyx · 发表于 2018-6-2 09:24:43

哦哦，有道理

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