本帖最后由 houjs 于 2018-8-26 16:42 编辑
RCX的corner设置有些矛盾?
我们知道,在寄生参数提取时,除了typical corner以外,往往还有其它的corner数据,典型的有: Cmin,
Cmax, RCmin, RCmax。其具体含义是:
Cmin: 使得寄生电容值最小的工艺参数设置。
Cmax: 使得寄生电容值最大的工艺参数设置。
RCmin: 使得寄生电阻值最小的条件下,尽可能使得寄生电容也比较小。
RCmax: 使得寄生电阻值最大的条件下,尽可能使得寄生电容也比较大。
那么,如何设置工艺参数才能达到上述4个corner的需求呢?
我们首先回顾一下8月20日的microscape8 公众 号文章,它曾经提到:一个导体的总电容值可以分解为4个电容值之和。
Ctotal等于Ct , Cb, Ccl, Ccr的电容之和。为了使得Cmin达到最小电容,就要使得4个电容每个都达到最小条件。
Ct的电容主要取决于主导体与上层金属之间的距离,与距离成反比。因此,需要把主导体与上层金属之间的距离设置为工艺的最大值,就可以满足Cmin的条件。
同理,Cb的电容主要取决于主导体与下层金属之间的距离,与距离成反比。因此,需要把主导体与下层金属之间的距离设置为工艺的最大值,就可以满足Cmin的条件。
Ccl,Ccr的电容主要取决于主导体的厚度,与厚度成正比,因此,需要把主导体的厚度设置为工艺的最小值,就可以满足Cmin的条件。
综上,Cmin的工艺设置参数为: 厚度取最小值,与其它层金属的距离取最大值。
同理,Cmax的工艺设置参数为: 厚度取最大值,与其它层金属的距离取最小值。
那么,RCmin的工艺参数如何设置呢?这里就会遇到一个看似矛盾的问题:
我们知道,电阻与导体的厚度成反比,为了使得电阻最小,必须使得导体厚度最大。但是,导体厚度大,又使得寄生电容的Ccl,
Ccr的电容变大,这样,R和C变化的趋势是相反的,如何保证RC的乘积就是最小呢?
答案是:虽然看似矛盾,但是寄生电容的值是有4个部分累加得到的,Ccl, Ccr虽然变大了,但是,如果使得Cb, Ct的电容值变得最小,4个部分累加后虽然不是电容的最小值,但是也达到了尽可能地使得总电容变小的需求。
因此,RCmin的工艺设置参数为:厚度取最大值,与其它层金属的距离取最大值。
同理,RCmax的工艺设置参数为:厚度取最小值,与其它层金属的距离取最小值。
总结成一个表格:
以上仅仅是讨论了如何设置工艺参数使得满足Cmin, Cmax, RCmin, RCmax的需求,那么,如何把这些工艺参数转换成相应的 RC Runset,使得运行寄生参数提取工具时,可以正确地使用这些参数呢? 我们将在后续的文章中探讨。 也可以关注:公众 号 microscapes8
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