求教光刻机问题？

hsim

有了解3D封装，MEMS和功率器件光刻机价格的吗？这个领域国内现在主流是mask aligner， 还是低阶stepper？
感觉这块有0.6um分辨率就可以了。
有行家吗？

123456zhuang

低阶的I-line  step 完全可以满足要求。