layout中contact上增加opc层的方法

lyxx_e · 发表于 2018-3-8 09:42:08

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版图已经画好，现在根据规则需要在contact的四个角上增加opc，请教各位大神指点一下

motofatfat · 发表于 2018-3-8 09:49:37

看不太懂問題如果一樣大的話 , 最簡單的方式是利用 mapping file , stream out 時把
CONT 輸出 2 份 layer 在 stream in 就會多出來了

lyxx_e · 发表于 2018-3-8 09:56:45

回复 2# motofatfat

1520474276(1).png

firewolf223 · 发表于 2018-3-8 10:33:02

不明你的意思。OPC是fab 来做的
你要OPC 层是指什么意思？
你是要这里special 做OPC 还是这里不错OPC ？还是你要OPC 之后的pattern？

lyxx_e · 发表于 2018-3-8 10:51:54

回复 4# firewolf223

layout中有conopc这一层次，DRC要求在contact上的四个角加上conopc

firewolf223 · 发表于 2018-3-8 11:05:03

回复 5# lyxx_e

这谁家的rule 啊，这么奇葩，让layout 自己加OPC 啊
我觉得你跟fab确认下吧。
早起的rule base OPC 和DRC是类似的如果是用mentor的 OPC 来做，但是rule 非常复杂
到28 以后基本上都是model base OPC，通过litho 的条件来建模做simulation 来修OPC的
不管哪种都不是一两个人能搞得定的

lyxx_e · 发表于 2018-3-8 11:07:24

回复 6# firewolf223

谢谢大神指点

uestc.chb1 · 发表于 2018-3-8 11:37:39

用calibre脚本产生，一般foundray会提供，没有的话自己写一个吧，类似添加金属密度的脚本。

lyxx_e · 发表于 2018-3-8 12:02:33

回复 8# uestc.chb1

可以指导一下吗？不会写啊

motofatfat · 发表于 2018-3-9 09:57:23

如果 cont 是用 cell 擺的 , 就苦工把cell 改了
CONT size 是多少 , 有空想來一下如何寫 rule 來建

[求助] layout中contact上增加opc层的方法

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