怎样修复天线效应违例？

wenfangsibao · 发表于 2017-11-22 13:46:06

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第一，请问天线效应违例一般怎样修复？
第二，我看到有人说有一种解决违例的方法是跳线。请问跳线是指什么？是下图所示吗？
比如本来有条M2的net引起了天线效应违例，所以我可以尝试从中间断开这条M2 net，然后通过VIA23到M3，然后再通过VIA23到M2？
如果是这样的话，那么跳线之后，M2 net上的聚集电荷不会通过VIA23 流动吗？
1122_1 (1).jpg

gq619512506 · 发表于 2017-11-26 20:46:21

跳层，插diode或者插buffer
制造是从下往上长METAL层的

分特 · 发表于 2017-11-26 23:58:43

天线效应是发生在CMP过程中，制造M2时还不存在M3,所以往上跳层可以减少末段M2的长度或者面积，从而消除违例

xingyun666666 · 发表于 2017-11-27 13:22:20

回复 3# 分特

请问，为什么向上跳层要比向下跳层好？很晕，不太懂，期待您的回复

分特 · 发表于 2017-11-28 01:39:39

如果M2往M1跳层，制造M2时M1已经存在了呀，几段M2都连通在一起，这样并不能减短M2的线段长度

xiaoyisimonguo · 发表于 2017-11-28 06:41:35

回复 5# 分特

thanks for replying

xingyun666666 · 发表于 2017-11-28 09:11:48

本帖最后由 xingyun666666 于 2017-11-29 09:07 编辑

回复 5# 分特

很开心收到您的回复，有两点疑问：
第一，fix ant确实有向下跳线法啊？按照您的说法就不存在像下跳线的这种方法了
第二，像下跳层，天线效应计算公式应该只算ME2多少面积，就算有ME1，它也不算是ME2的天线效应计算公式中，是没关系的
不知道理解的对不对

分特 · 发表于 2017-11-28 23:43:06

向下跳层无效的

wenfangsibao · 发表于 2017-11-30 14:33:29

本帖最后由 wenfangsibao 于 2017-11-30 14:37 编辑

回复 7# xingyun666666

其实“分特”已经讲清楚了。如果往下跳层到M1，那么在抛光M2时，两段M2会被中间那层M1连接起来，那么又会恢复成为一条长线，还是会出现“一条线上存在大量电荷”。
如果往上跳层到M3，那么在抛光M2时，原来的一条长线已经被断成两条短线。并且根据制造步骤，一般是先制造底层，再制造上层金属，所以在制造M2的时候还不存在M3，这样的话，被断开的两条M2短线也不会恢复成一条长线。此时，连接到poly上的是一条被断开的短线。等到制作M3时候，曾经被断开的两条M2短线又恢复连接成一条长线，但此时，M2上的电荷已经不存在了。

xingyun666666 · 发表于 2017-11-30 14:45:07

回复 9# wenfangsibao

很开心收到您的回复，一般天线效应就是net太长这一种原因吧？解决的方法：插Buf,跳层，和插dio cell,这几种方法有什么优先级吗？一般用哪种方法？优选选用哪种会比较好？

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