2P3M是什么？

鹏殇 · 发表于 2017-6-6 09:28:09

回复 4# rnistake

麻烦问一下层主两层poly是怎么做的？我是小白……

翔子zkx · 发表于 2017-7-27 20:46:20

回复 1# lenar

2P3M=two poly and three metal，是该工艺提供的poly and metal数，可选

peterlin2010 · 发表于 2017-7-28 22:31:20

回复 rnistake

麻烦问一下层主两层poly是怎么做的？我是小白……
鹏殇发表于 2017-6-6 09:28

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2层poly + 3层metal
poly1 mos gate
一般 poly2 => hi-Res . 或 pip cap .

有些 0.35um 下电容会换 mom /mim
至於 m1 m2 m3 mom 一般有 200v ~ 但容值不大

xiangyangym · 发表于 2017-8-5 15:16:08

回复 1# lenar

从65ETOX来看，应该是说的ETOX(EPROM Tunnel Oxide)这种结构的flash memory。这样的话，2P3M表示的是2层Poly（分别是Floating Gate和Control Gate），3层Metal。具体的结构或工艺可以参考Flash Memory的一般介绍。

6C1A应该指是6层Cu，1层Al吧？

quhuaibo · 发表于 2017-9-8 07:29:14

good material

K2Cr2O7 · 发表于 2019-3-17 21:56:58

2层 poly ，3 层metal

hehe1111 · 发表于 2019-5-5 20:41:13

2层多晶硅（Poly-Silicon），3层金属（Metal）

[求助] 2P3M是什么？

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