大概几根600*0.3u的metal浮空有什么影响没有

andylau612 · 发表于 2017-3-17 11:16:09

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rt，是在55nm的工艺中出现的，因为dummy metal 我们一般也只有3*3，左右的大小，这个算下来面积有点大，不知道有什么影响没有，在制作过程中收集电荷还是挺厉害的

andylau612 · 发表于 2017-3-17 11:16:53

自己顶一下

Yestare · 发表于 2017-3-17 15:02:42

回复 2# andylau612

为什么要floating 呢？接地不就好了.

xxmule · 发表于 2017-3-17 15:35:02

这个是为了增加density加的吗？你的design rule有提到过天线效应没有？

回复 1# andylau612

andylau612 · 发表于 2017-3-17 16:51:39

回复 4# xxmule

不是的，只是单纯的讨论这个有没有影响，单独的一根浮空线是不会check ant的。

xxmule · 发表于 2017-3-20 10:40:40

这个没有试验数据，也只有流片了才知道有没有影响了

回复 5# andylau612

心晴 · 发表于 2017-3-20 20:11:08

我觉得这得结合整个电路和版图来看了，像楼主说的这种大面积悬空会收集电荷，碰到有敏感的走线寄生了大电容估计会有影响的。

tuohong · 发表于 2017-3-20 21:56:32

会有像收集电荷、RC等情况，存在出问题的可能性，所以建议避免。

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