请问加slot之后电流能力会有什么变化？

213kkw · 发表于 2016-11-19 15:05:07

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遇到需要走大电流的宽metal一般都要挖slot，应该是因为电流的趋肤效应CCE,这样可以增加电流的通过能力。如果本来有一根宽度为5的metal，如果中间加了slot之后，metal的实际宽度是不是应该减去slot的宽度比如说变成4.5了，他的电流通过能力是大于宽度为5的metal还是说是介于4.5和5之间？

tuohong · 发表于 2016-11-21 09:35:55

这个情况比较复杂，你可以不用理会，正常fab的rule会有很大的余量，即使电流密度稍稍差一点儿不会影响到你的工作可靠性。

Yestare · 发表于 2016-11-23 13:29:58

只是用IR drop tool run 下好了.

firewolf223 · 发表于 2016-11-26 14:04:33

挖slot是process的考虑，CMP会dishing ，中间的metal 会薄，反而会有可靠性的问题，slot会增强可靠性而不是减弱。

fuyibin · 发表于 2016-11-30 13:30:55

挖slot和skin effect没有关系
slot是为了避免大块金属的应力和process中的某些问题，如cmp时过度刻蚀等问题

yudiluochuang · 发表于 2016-11-30 16:39:01

学习了

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