sentaurus 求助

zouqifeng123 · 发表于 2016-11-9 10:01:17

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请问有大神知道为什么SDE要先进行固定掺杂，在进行解析掺杂，固定掺杂和解析掺杂是什么意思？求大神指点

owl_feng · 发表于 2017-4-27 19:31:54

你简单理解就行：固态就是本征浓度，均匀的。解析掺杂是类似注入后退火后的分布。

zouqifeng123 · 发表于 2017-5-23 09:28:06

回复 2# owl_feng
谢谢

Y_HIT · 发表于 2018-6-21 10:15:17

固定掺杂是均匀的，一般用来掺杂衬底，解析掺杂是解析分布的，用来掺杂源漏区等

王者拜仁-碳化硅 · 发表于 2020-10-15 21:15:16

学习到了

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