请问关于Design rule的问题

213kkw · 发表于 2016-10-8 15:16:24

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一般design rule里面对于宽的metal，间距规则要求会有所不同。比如有的工艺当metal宽度>10以后space规则就会变大。
但是如果我把metal宽度画成9.9就可以避免这个规则。
但是在实际情况中9.9和10其实差别并不大。
如果我把metal做成9.9会不会带来风险？还是说本身DRC规定的metal>10已经留有了一定的余量，即便metal宽度=10，space小于规则也不会出问题呢？

tuohong · 发表于 2016-10-8 16:26:17

我之前在一个帖子里的回答，希望能提供一些帮助。
http://bbs.eetop.cn/viewthread.p ... p;page=1#pid8857714

hehuachangkai · 发表于 2016-10-8 17:35:04

只要按照drc画，就没有问题。
即使有问题了，也是foundry的责任。。

miyab · 发表于 2016-10-9 15:08:35

foundry提供给我们的东西，指定是自己留有余量的。我们也经常这么规避DRC

hilary717 · 发表于 2018-7-18 16:57:46

我觉得是已经留有余量的，foundry给出的design rule是应该可以把工艺做到最好，风险降到最低的一个要求

蚊子咬后 · 发表于 2018-7-19 22:27:05

这是一个良率的问题，就算你按照9.99的rule来做，也不见得就会出问题，但这是在挑战fab的良率，没有必要。当宽度大于9，就自觉拉大space，不会在乎这微不足道的面积吧

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