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sunbinsunbird · 发表于 2016-9-14 21:41:14

Cryogenic etching of nano-scale silicon trenches with resist masks
http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0167931710004764

谢谢啦

jdylove · 发表于 2016-9-14 21:41:15

应该是这个。

1-s2.0-S0167931710004764-main.pdf (645.64 KB , 下载次数: 2 )

jordan6688 · 发表于 2016-9-22 12:31:46

Sciencedirect_articles_22Sep2016_00-30-07.714.zip (1.26 MB , 下载次数: 2 )
还有个打包件，里面有3个PDF

sunbinsunbird · 发表于 2016-9-23 05:38:11

回复 2# jdylove
谢谢啦

QQben · 发表于 2016-9-23 13:36:12

谢谢分享

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