scribe lane里面有什么东西啊，还是空的？

8i8i9o9o

scribe lane里面有什么东西啊，还是空的？

fzu_physics

是scribe line 吧，划片道，用来切割芯片的

8i8i9o9o

我知道是切片用的。

里面是空的，没有什麽metal pattern， p+ n+之类的layout pattern吗？

回复 2# fzu_physics

fenger2038

里面不是空的，有一些测试wafer的东西是放在scribe line 里面的

fzu_physics

回复 3# 8i8i9o9o


    楼上正解。
大概就类似这样

Rucas

有SealRing和测试Buffer在ScribeLine中

tiamo1222

ls，sealring不属于scribeline额。
一般说来，scribeline要放置一部分光刻对准标记，给光刻机台用的，一般所有层次都会有。
还会放置一些CD测量图形，CD较大的层次比如cover可能没有。
还有一部分是testkey，用来测试器件性能的。
还有么，一般OD会铺满或者有dummy，PP一般会全部覆盖(和sealring的pp连在一起)，可能还有其他乱七八糟的层次，一般这块是不用看的，出了问题也是fab负责。

piao

thanks for sharing

Mibio

thanks for sharing