如何画seal ring 和 scribe line 有酬谢

8i8i9o9o

那位有经验的布线工程师知道如何画seal ring 和 scribe line ？
smic18 工艺
有酬谢
15711123392

suly

designrule上都有写啊 scribeline不需要你画啊

tcx963258

回复 1# 8i8i9o9o

根据具体工艺厂，design rule 里面有推荐的结构和尺寸。
sealring 一般（P sub 工艺）加P注入的环 加金属环加接触孔/通孔环，大部分工艺还会加入pad 层次做一个开窗的环，有需要还可以加倒角。
scribe line一般可选80u 或60u 具体看工艺厂流片时 在scribe line 放什么东西和怎么放，封装厂划片时一般都能支持60u

huoguang0047

请仔细查看design rule 每个工艺的 sealring 都有不同的设计规则。一般画法都很相似。

8i8i9o9o

看了design rule。
但还是希望有个例子看看才放心


回复 4# huoguang0047

8i8i9o9o

我们是5mmx5mm的 放4颗。
fandury 只管最外面的环。
4颗的内部的scribe line 需要自己画

我是希望有个例子。这样比较放心

回复 2# suly

kopzinc

回复 6# 8i8i9o9o


   1、最外面的环？是什么环？   2、scribe line是预留的划片间隙，60um-100um左右，不需要制作。
   3、详细的东西最好和foundry问清楚，一般foundry会提供带sr的pdk，如果没有按照rule画就好了，没啥难度。

8i8i9o9o

就是这样，请看看图

走mpw, faundry 要求画成这样。
他会在最外面加seal ring
和 scribe line。
给你的芯片就是如图的。
你自己再找封装厂再切成4个。


有人说scribe line 要画些东西。
这样切割的时候就不容易裂到芯片。
是这样吗？

回复 7# kopzinc

abby118

pad应该是必须的，其他的不知道！

Rucas

关于SealRing，DesignRule中有详细的介绍，你可以自己按照DesignRule去画就好了，
或者是可以让Foundry给你加上；

ScribeLine只是两颗die之间的Space，里面包含SealRing或测试的buffer电路，一般不需要我们自己去做。