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[求助] 新手小提问,请大神们赐教

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发表于 2016-4-9 18:41:10 | 显示全部楼层 |阅读模式

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我们一般版图里面画的直角边的图形,在工艺流片之后,图形的直角变成了圆弧型,这是怎么回事,请大神指教,还有,我现在想在圆片上做出来接近直角的图形,那我应该在版图做什么样的直角边补偿呢。
发表于 2016-4-9 19:17:51 | 显示全部楼层
 楼主| 发表于 2016-4-9 21:11:38 | 显示全部楼层
具体原理能说一下吗,我是刚刚涉及这个
发表于 2016-4-11 16:16:14 | 显示全部楼层
为什么非要做直角图形?在版图中不需要考虑图形在最终wafer上的成形,因为这不可控:无论是刻蚀的各向异性还是光的波动性导致的非直线传播,都会导致最终图形不规则。
而实际上,版图只要按照foundry提供的model来设计图形,运用已经验证过的model必然可以得到满足性能的各种器件。在这其中,确实有修正非规则图形的问题,但是这些都已经被foundry的工程人员修正过了。
当然,如果为了画一个logo然后在最终wafer上精确显示,那么真的有点难。。。
 楼主| 发表于 2016-4-12 08:12:37 | 显示全部楼层
非常感谢楼上的帖子,您说的很对,我现在面临的问题确实是要做出来近似直角的这么一个东西,工艺上,没有想到方法,只能看看版图里能不能补偿一下。
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