silvaco TCAD安装时出错

lxy_h

1.去开始-程序-S. EDA Tools-SFLM-Stop Server,将解密文件rpc.sflmserverd.exe拷贝到下面的路径 C:\sedatools\lib\rpc.sflmserverd\8.0.3.R\x86-nt 替换原来的文件.
做到这一步骤时，因为我当时没看清，结果先点了start server,后来我有执行了stop server的操作，但是当把文件rpc.sflmserverd.exe拷贝时，遇到 这个问题，我把电脑关了重启也还是不行。
2.在安装licenses时，遇到

这个问题报错说：all.lic文件
Input license does not appear to be a license file.
Could not read license fragment.File checksum failed.该怎么解决呢？？