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[求助] 请问Vtf是什么参数?

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发表于 2015-11-6 16:49:52 | 显示全部楼层 |阅读模式

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工艺 pcm参数里有nfox vtf
pfox vtf
这个参数是什么意思?具体是怎么测试到的
谢谢!
发表于 2015-11-25 20:24:31 | 显示全部楼层
Field MOS Vth
发表于 2016-7-19 21:56:18 | 显示全部楼层
可以理解为以field oxide作为gate oxide 的mosfet,测试方法类似于普通mosfet vt 测试方法。
发表于 2017-2-18 19:19:14 | 显示全部楼层
就是厚场氧下的有源区的开启电压
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