TSMC0.18中金属的电导率

曹明喜 · 发表于 2015-10-20 09:12:22

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求助各位，TSMC0.18um中金属的电导率是多少，在ADS中设计传输线要用到这个参数。

mikeppq · 发表于 2015-10-20 09:45:57

找到metal resistor参数反推一下

曹明喜 · 发表于 2015-10-20 10:20:59

回复 2# mikeppq

请问这个电导率可以在pdk中直接找到到吗

mikeppq · 发表于 2015-10-20 13:09:39

不一定有。
可以通过metal电阻方阻值和metal厚度推导出来。

曹明喜 · 发表于 2015-10-22 18:10:23

回复 4# mikeppq

麻烦问下。.18工艺里的金属是铜吗，还是其它的

mikeppq · 发表于 2015-10-23 08:05:35

本帖最后由 mikeppq 于 2015-10-23 08:08 编辑

一般是铝，TSMC的不太清楚。

semico_ljj · 发表于 2015-10-23 09:10:09

回复 1# 曹明喜

0.18um 请看PDK！
可能是Al，可能是Cu
0.13um一下，Cu多见

曹明喜 · 发表于 2015-10-23 12:34:10

回复 6# mikeppq

好的，谢谢

[求助] TSMC0.18中金属的电导率