BICMOS填充物

bandpass · 发表于 2015-7-27 19:15:07

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这是Bicmos工艺的Poly层照片，从图中看有Poly电阻、deep trench等，
我的问题是：图中的矩形小方块是哪一层？该小方块遍布芯片空余区域，包括PAD下面也有，
好像填充来做隔离用的，有人提出是shallow trench，不知各位有何高见。

deep Trench.png

fuyibin · 发表于 2015-7-27 20:08:31

看着像dummy

bandpass · 发表于 2015-7-27 20:11:43

回复 2# fuyibin

具体来说是那一层呢？有没有为了降低衬底串通而特意加的特定层？

rockforever · 发表于 2015-7-28 05:51:14

看着像自动生成的dummy有源区

ygyg100 · 发表于 2015-7-28 08:52:56

回复 1# bandpass

有源区或poly的dummy，密度填充的

jamesccp · 发表于 2015-7-28 17:19:48

同意楼上的

bikku007 · 发表于 2015-7-28 17:48:58

看起来像一个填充结构给我

bandpass · 发表于 2015-12-28 09:42:26

回复 5# ygyg100

是的，看起来是填充物，poly或者有源区都有可能。

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