MIM电容的antenna问题

vesalioHE · 发表于 2015-6-30 14:33:02

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我在做DRC检查时候看到antenna_mim这个rule
它的意思好像是说mim的CBM和CTM要么同时悬空，要么同时接OD，这样是OK的
其余情况都是unbalance的，其余情况包括：
只有一边接到OD，另一边悬空
只有一边接栅极，另一边悬空
两边同时接栅极

不知道我的理解有没有问题。但很多时候不是会用mim电容来隔直吗，后面紧接着就是MOS的栅极了
这样好像过不了antenna_mim，请问怎么办呢？
走线跳层吗，怎么跳？

vesalioHE · 发表于 2015-6-30 17:24:58

顶一下。。。。是不屑于回答吗。。。

semico_ljj · 发表于 2015-6-30 21:41:57

走线跳层

scujsz · 发表于 2015-7-1 08:14:36

顶一下

vesalioHE · 发表于 2015-7-1 10:20:46

本帖最后由 vesalioHE 于 2015-7-1 10:37 编辑

回复 3# semico_ljj

怎么跳呢？MIM是由M8引出来的，然后M8先跳到M9，然后又跳回M8，这样吗？

xuyijun2513 · 发表于 2016-11-6 13:00:12

加个二极管，主要原因是在制作的过程中，是一层层涨上去的，但是mim电容说白了是两层金属，下层长好了，上层还没有，就会存在风险，所以晶圆厂一般建议加个二极管

alieng · 发表于 2018-3-14 17:27:15

两极板都连接到一个不导通的OD上就行了，只是为了过DRC。

从此以后01 · 发表于 2018-3-22 10:00:52

回复 6# xuyijun2513

整解

从此以后01 · 发表于 2018-3-22 10:01:32

回复 6# xuyijun2513

正解

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