请问有哪些比较强大的MEMS工艺仿真软件？

feiniao114 · 发表于 2015-3-26 08:42:04

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RT，请问目前比较实用而且强大的MEMS“工艺”仿真软件有什么，知道的帮忙推荐下，谢谢！

ww9980 · 发表于 2015-3-27 02:57:43

COMSOL? 有这个模块但是买授权花钱不少

kofkoy2000 · 发表于 2015-5-2 18:03:11

工艺仿真软件的话，考虑下coventor公司的3Dsemulator，不过没有用过，只看了介绍。
coventorware马马虎虎过得去，不算很好，聊胜于无。

brownfan · 发表于 2017-7-5 20:38:42

请给我一个 CoventorWare_2012.000的 license 行吗？390504401@qq.com

east0609 · 发表于 2017-8-18 12:53:19

默默地看一看。。。。。

[求助] 请问有哪些比较强大的MEMS工艺仿真软件？