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查看: 2210|回复: 1

[求助] 有没有大神知道MEMS spin coating仿真软件，要求可以考虑wafer表面起伏条件

发表于 2015-3-24 10:17:37 | 显示全部楼层 |阅读模式

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Rt，有没有大神知道MEMS spin coating仿真软件，要求可以考虑wafer表面起伏条件。谢谢~~

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发表于 2015-5-2 18:18:45 | 显示全部楼层

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