经过氧化层台阶的金属连线通常无法完美地覆盖台阶？

jimipage · 发表于 2015-3-12 10:52:58

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jimipage · 发表于 2015-3-12 14:59:06

这话时什么意思啊？
有氧化层台阶的金属连线要薄一点？

baby_fairy · 发表于 2015-3-18 11:02:49

经过抛光处理的氧化层应该不需要金属连线再去覆盖它的台阶了啊么明白lz什么意思

jimipage · 发表于 2015-3-18 16:48:01

我这问题是在《版图艺术》书中，14章，组装管芯，14.3.3电迁徙，看到的

jimipage · 发表于 2015-3-18 16:51:10

金属连线走过氧化层台阶时，两者的厚度加起来，高了，后面的工艺也许会磨平，然后厚度变小，从而使得氧化层台阶上的金属连线的厚度也变小，从而其承载电流的能力也下降。
是这么理解的吧？

jimipage · 发表于 2015-3-18 16:57:33

应该是台阶边缘金属线不厚。

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