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[资料] 半导体工艺---CMP

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发表于 2015-1-2 08:52:31 | 显示全部楼层 |阅读模式

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CMP工艺的一些理论性介绍。
供有兴趣的参考

Chemical mechanical planarization for microelectronics.pdf

5.04 MB, 下载次数: 293 , 下载积分: 资产 -3 信元, 下载支出 3 信元

 楼主| 发表于 2015-1-2 08:53:35 | 显示全部楼层
继续发一个ppt

CMP_TRAINING_MATERIAL.pdf

378.62 KB, 下载次数: 108 , 下载积分: 资产 -2 信元, 下载支出 2 信元

发表于 2015-1-2 19:24:16 | 显示全部楼层
下来看看
发表于 2015-1-4 22:02:23 | 显示全部楼层
挺好的资料
发表于 2015-9-20 21:21:04 | 显示全部楼层
资料挺好的
发表于 2015-9-27 08:49:09 | 显示全部楼层
凑凑积分划划水
发表于 2016-1-24 12:42:28 | 显示全部楼层
回复 1# temp15555


     集成电路生产/封装/工艺 » 生产/封装资料区 » 半导体工艺---CMP,
好老的资料呵!!
谢谢!!
发表于 2016-5-10 22:00:44 | 显示全部楼层
以前做过CMP,关注下,谢谢了楼主的贡献
发表于 2017-11-14 13:16:29 | 显示全部楼层
以前做过CMP,关注下,谢谢了楼主的贡献
发表于 2017-11-16 00:29:34 | 显示全部楼层
非常好,谢谢楼主
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