via space 2X2 到4X4 以上space就要加大

liamy2009 · 发表于 2014-11-30 22:43:30

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1 via space 2x2假如是0.2，4x4以上 designrule 上就是0.25了，请问这是工艺的要求（矩阵大有可以打通之外），其他工艺上的原因是什么？2 宽金属space 是考虑金属的延展性还有其他什么原因？

WilliamZ · 发表于 2014-12-1 09:36:48

via area 過大,會導致蝕刻過度,所以Spacing 要拉大

[求助] via space 2X2 到4X4 以上space就要加大