弱弱问一下，为什么55nm Logic&RF的工艺PDK没有hpoly器件？

zhujihan · 发表于 2014-10-14 11:15:27

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Hpoly器件（高阻）应该不需要额外的mask呀，180nm的工艺有，130nm的工艺也有，为什么进入到深亚微米就没有了？深亚微米下做hpoly有困难吗？？

victor0o0 · 发表于 2014-10-14 13:33:12

因为一般本来就有的啊。。再找找吧

xiake416 · 发表于 2014-10-14 13:34:33

2B2B2B

fuyibin · 发表于 2014-10-14 14:19:26

没有，高阻也就1K/sq或2K/sq，现在有500ohm/sq的poly resistor，为什么还要hpoly，没有意义

istart_2002 · 发表于 2017-2-27 21:03:03

没有，高阻也就1K/sq或2K/sq，现在有500ohm/sq的poly resistor，为什么还要hpoly，没有意义
fuyibin 发表于 2014-10-14 14:19

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sq是什么单位~

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