加工特征尺寸缩小根号2倍是怎么计算的？

xiaozi403 · 发表于 2014-10-6 11:57:16

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加工特征尺寸缩小根号2倍是怎么计算的？根号2倍怎么得来，求指导？还是芯片尺寸0.18um什么的指的是沟道长度吗？？？拜托各位啦。急

xiaozi403 · 发表于 2014-10-6 12:36:00

没人知道吗？？？

semico_ljj · 发表于 2014-10-6 13:49:30

回复 1# xiaozi403

差不多0.70.7*0.7=0.5
同样的器件，面积可以缩小一半！

semico_ljj · 发表于 2014-10-6 13:50:17

回复 1# xiaozi403

0.18um 指的是L min这些书上都有，搞微电子不能说这个不知道

xiaozi403 · 发表于 2014-10-6 15:31:11

非常谢谢你啦

[原创] 加工特征尺寸缩小根号2倍是怎么计算的？