spice model metal sheet resistance

zqszjmzy · 发表于 2014-9-11 06:59:02

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Hi 各位前辈，小弟在看spice model 文件的时候遇到了一个问题，比如metal 1的sheet resistance，model file里有三种情况：Metal 1 with w/s = 0.09/0.45
subckt
rsh = r_rm1l
....
end

Metal 1 with w/s = 0.09/0.09
subckt
rsh = r_rm1s
end

Metal 1 with w/s = 0.27/0.135
subckt
rsh = r_rm1w
end

r_rm1l r_rm1s r_rm1w三个参数的值不一样。求问这是什么情况？