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查看: 1668|回复: 1

[讨论] 现在65nm 40nm的sub是什么结构的？

发表于 2014-7-3 15:51:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

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是高掺杂（p+）sub上长低掺杂的外延层？还是低掺杂（p-）sub上长高掺杂的外延层？
谁有相关的资料啊，先谢谢了

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发表于 2014-7-3 18:11:54 | 显示全部楼层

一般是epi sub，带外延的，

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