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EETOP 创芯网论坛 (原名：电子顶级开发网)»论坛 › IC 设计及制造（半导体、微电子） › 后端设计 › 后端讨论区 › 现在65nm 40nm的sub是什么结构的？
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查看: 1685|回复: 1

[讨论] 现在65nm 40nm的sub是什么结构的？

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heshufeng
发表于 2014-7-3 15:51:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

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是高掺杂（p+）sub上长低掺杂的外延层？还是低掺杂（p-）sub上长高掺杂的外延层？
谁有相关的资料啊，先谢谢了
资料

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icfbicfb
发表于 2014-7-3 18:11:54 | 显示全部楼层
一般是epi sub， 带外延的，
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