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查看: 17466|回复: 18

[求助] 请问下芯片的厚度是多少呢?

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发表于 2014-7-1 13:58:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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请教诸位人士,普通的芯片厚度有多少um呢?
按工艺说吧,0.18um系列,90nm,45nm,28nm大约是多少?
求教诸位资深人士,多谢。
发表于 2014-7-1 14:16:45 | 显示全部楼层
本帖最后由 fuyibin 于 2014-7-1 15:01 编辑

要看减不减薄,大概250um
发表于 2014-7-1 14:27:34 | 显示全部楼层
好像从来没关注过芯片厚度,一般都是关注某一层厚度
 楼主| 发表于 2014-7-1 14:39:02 | 显示全部楼层
回复 2# fuyibin


    非常感谢,你说的是哪个工艺下的厚度?还是普通的厚度?
    确实要看磨不磨,磨不磨决定于封装的那边。
    这里我问的是生产出来的wafer厚度。
发表于 2014-7-1 15:00:42 | 显示全部楼层



哦,这样啊
wafer打磨前的厚度不太清楚,但是查到tsmc的design rule上写的 flipchip backside grinding最小29mil for 12“wafer
查了一下amkor wire bond data sheet
LQFP die thickness 14.5mil
TQFP die thichness 11.5mil
大概在270um到360um
 楼主| 发表于 2014-7-1 15:47:58 | 显示全部楼层
回复 5# fuyibin


    非常感谢!可能那个厚度没啥参考意义吧,只是为了配合封装磨到相应的厚度就可以了。
发表于 2014-7-1 16:04:55 | 显示全部楼层
wafer厚度根据fab和wafer尺寸不同而不同。我现在用的某家8吋wafer在减薄前(出厂厚度)是725um。考虑到wafer过薄不利于运输,所以一般是出厂厚度运输到封装厂做减薄,我们所用的封装,需要把wafer减到大概300um左右。
 楼主| 发表于 2014-7-2 09:38:41 | 显示全部楼层
回复 7# tuohong


    非常感谢你的解答,我查了些资料,是这样的!
发表于 2014-7-2 15:40:01 | 显示全部楼层
一般是12mil,也就是300um,  打薄为了csp或者某些封装需求是需要另外付费的,
发表于 2014-7-3 16:21:03 | 显示全部楼层
本帖最后由 dabing 于 2014-7-3 16:26 编辑

回复 1# zhanqing1215

如果你说的是封装好的芯片,这个主要和封装的关系比较大,你可以看看各个封装的要求,一般来说减薄之后200um。总之各个腔体的要求不一样,
如果你说的是wafer,这个在design rule中应该都有介绍,要不在填fab的文件时都会给出来哈,一般ic设计的书中都会提到一个范围,你也可以搜一下,具体记不清楚,应该在几百um
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