关于用sentaurus仿真SiC器件的求助~~

sunangel013 · 发表于 2014-6-1 11:16:12

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刚接触SiC器件仿真，无法进行B注入，
用implant Boron energy= 50 dose = 3e13 tilt=0 rotation=0
结果会报错 No implant table file for species Boron in material SiliconCarbide
求知道的指导下啊~~
另跪求 SiC_Vertical_JFET.gzp
SiC-6H-2DpIGBT.gzp

sunangel013 · 发表于 2014-6-2 09:50:26

没人么···求指导啊···

rectinajh · 发表于 2014-7-13 18:12:21

回复 1# sunangel013

SiC-6H-2DpIGBT.gzp这个例子我有。

你是做什么的呀？

rectinajh · 发表于 2014-7-13 18:14:16

回复 1# sunangel013

SiC器件因该掺杂Al吧

sunangel013 · 发表于 2014-7-14 14:45:04

回复 4# rectinajh
谢谢你的资料···，
我后来查了下，掺杂B和Al的都行，不过B的退火温度高很多，所以用Al多····
现在能查到的sentaurus关于SiC的例子全是结构编辑的，没见到工艺仿真的··

sunangel013 · 发表于 2014-7-14 14:55:17

回复 3# rectinajh
例子我怎么打不开呢····提示错误：gzp：not in gzip format····难道是我的软件版本太低？我用的2009版的··

rectinajh · 发表于 2014-7-24 23:58:39

2013版的，你把例子放到STD,在sentaurus上解压，就可以打开。

306836621 · 发表于 2015-5-26 10:55:04

多谢分享，带走了。。。。

tcpu · 发表于 2016-1-6 18:36:27

不错多谢

九章伏藏gyx · 发表于 2016-3-2 17:09:56

回复 3# rectinajh

这个是sde的例子有没有sprocess的例子什么器件都可以只要是sic的

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