关于版图中dual gate层的问题

yunyi009 · 发表于 2014-5-16 10:59:55

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dual gate图层是什么？有什么作用？我看chrt35的工艺库里5V的MOS管没有这个层，3.3V的MOS管有这个图层，这是怎么回事呢

mnluan · 发表于 2014-5-16 11:43:52

回复 1# yunyi009

dual gate 是指CMOS双栅工艺。双栅工艺是用来实现不同的阈值，依此来适应不同的电源电压（3.3v/5.0v）。具体细节问度娘

yunyi009 · 发表于 2014-5-16 12:59:29

回复 2# mnluan

加一层dual gate不应该氧化层更厚，对应高电压吗？

mnluan · 发表于 2014-5-16 14:48:23

回复 3# yunyi009

工艺流程，不是简单的厚度相加。。。。

百度一下，你就知道。。说得比我清楚。

囧囧囧whisky · 发表于 2022-8-18 10:37:28

搞反了吧？加DG层的对应厚栅氧，smic.18工艺5V是带DG的、1.8V不带DG

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