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查看: 3072|回复: 5

[求助] 栅氧和氧化层侧墙之间的是什么

发表于 2013-11-8 15:36:12 | 显示全部楼层 |阅读模式

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发表于 2013-11-9 14:03:21 | 显示全部楼层

是Ti吗

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发表于 2013-11-26 20:27:09 | 显示全部楼层

这个我要查一下flow看看

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发表于 2013-11-27 11:05:49 | 显示全部楼层

材料是TEOS 这个结构叫spacer ，作用是使管子的实际沟道比版图上要长减小沟道效应

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发表于 2014-4-1 14:53:23 | 显示全部楼层

是Spacer ,隔绝作用！！当然也有楼上说的那个作用！！

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发表于 2015-4-8 10:09:32 | 显示全部楼层

SIO2,二氧化硅

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