MOM 电容和MIM电容的区别是什么？

猫腻1205 · 发表于 2023-2-7 10:20:09

zw5823035 发表于 2013-10-24 21:09
是和2楼说的一样，大工艺，一般都是mim电容，小工艺寄生比较大，而且一般metal层比较多，所以用mom电容更省 ...

大工艺和小工艺是以什么来分辨的？麻烦了

stm2010 · 发表于 2023-9-16 11:43:12

直观解释
MOM电容是手指平放，手指之间的电容。
MIM电容则是竖放时的电容。

忍者神硅 · 发表于 2023-9-27 16:26:46

MOM电容用作滤波时，容值受电压变化会有波动，一般用来用作直流电源，地的滤波；金属电容容值受电压变化比较小，比较稳定，一般用来信号线的滤波。从电路那了解了这一点。

zhengqq123 · 发表于 2023-10-16 19:58:27

感谢分享！

catherine_xxp · 发表于 2023-12-20 11:37:39

猫腻1205 发表于 2023-2-7 10:20
大工艺和小工艺是以什么来分辨的？麻烦了

大工艺一般指0.11um及以上的工艺，这些工艺，一般MIM电容仅需要增加一层光照；
小工艺一般指90nm及以下的工艺，这些工艺，如果要实现MIM电容，需要增加三层光照，不划算，所以使用MOM电容居多。

catherine_xxp · 发表于 2023-12-20 11:39:34

忍者神硅发表于 2023-9-27 16:26
MOM电容用作滤波时，容值受电压变化会有波动，一般用来用作直流电源，地的滤波；金属电容容值受电压变化比 ...

请教一下，我看了一下各个制程的MOM model，MOM的电压系数非常小啊，不清楚为什么MOM电容容值会受电压变化有波动？

skahill · 发表于 2023-12-26 15:08:02

Got it, thanks...

liulu417 · 发表于 2023-12-27 14:35:44

记下来了

[讨论] MOM 电容和MIM电容的区别是什么？