ICC tech file

wudicao

看了半天ICC tech file里的Fat Metal Spacing Rules,还是不会改。
比如我想把全部并行走线超过25um的走线，最小间距设为0.2um，我是这样改的：
fatTblDimension = 3
fatTblParallelLengthDimension = 3
fatTblThreshold = (0.000,0.500,3.000)
fatTblParallelLength = (0.000,1.500,25.000)
fatTblSpacing = (0.100,0.100,0.200,
                         0.100,0.150,0.200,
                         0.100,0.170,0.400)
可是结果不是想要的。看结果，我怀疑ParallelLength是指max_length{wire1,wire2},而不是两者并行的部分。
不知道哪位高手懂设置这个呀？
流片修DFM急用！

wudicao

自己顶起

zero_0

ParallelLength的确是指两者并行的部分，但它的作用是downgrade而不是upgrade
你的table蛮奇怪的，正常来说应该是只要一根metal的宽度处于特定范围，spacing rule就会有相应的变化，更不会是两根metal对调时spacing的要求会不一样

如果单单为了满足你的需求，可以试一下这样：
fatTblDimension = 2
fatTblThreshold = (0.000,MinWidth)
fatTblParallelLength = (0.000,25.000)
fatTblSpacing = (MinSpace,0.200,
                         0.200,0.200)

以上是看 document 推断的，没有经过检测，如有理解有误之处，请指正

wudicao

回复 3# zero_0

谢谢你的解答。
我对document的理解是纵向对应的是Length，横向对应的是Width，矩阵元素值表示的是spacing
所以矩阵可能是M*N维的，也不一定是对称的。
我不太明白的你的矩阵那三个对称的0.2分别表示的是什么意思？
谢谢！

zero_0

回复 4# wudicao


    横向纵向都是 width ,当满足 downgrade 的条件时，也就是横向纵向都使用 ParallelLength 时比使用 width 要小，就使用 ParallelLength 的值。
    所以只要 ParallelLength 小于 25，spacing rule 设为 MinSpacing, 否则设为 0.2
    二维矩阵为 N*N, 由 fatTblDimension 指定指数 N

wudicao

回复 5# zero_0

谢谢，我大概明白了。由于实际需要，我的width和length的dimension不同。
fatTblDimension                 = 3
fatTblParallelLengthDimension = 4
fatTblParallelLength            = (0.000,2.000,2.000,25.000)
fatTblThreshold                 = (0.000,1.000,5.000)
fatTblSpacing                   = (0.10,0.160,0.500,0.200,
                                          0.160,0.160,0.500,0.200
                                          0.500,0.500,0.500,0.200)
麻烦帮我看一下如上设置是否满足了25um并行走线间距为0.2um的要求？
谢谢！

wudicao

回复 4# wudicao

感觉document上只说了downgrade没有upgrade啊
这样的话，只要线够细就可以无限长了。如果还有其他的design rule 要求，语法上就无法实现L>25时spacing=0.2的要求了。

wudicao

已经和synopsys证实了，无法根本解决并行走线间距的问题。只能通过define_routing_rule里的softrule来引导，而且最多只支持到16um的长度。

lisongyue

请问一下大家，layer thickness的建议值会在DRM或者DFM规则中体现吗？万分感谢