请问DPT是什么？是否有相关资料，多谢~

wlbce · 发表于 2013-8-26 11:58:12

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20nm下的double patterning technology 是什么个原理，为何要这么做，不太了解，求指教~

wlbce · 发表于 2013-8-26 14:34:17

wlbce · 发表于 2013-8-28 10:34:10

王不动 · 发表于 2013-8-28 14:36:58

20nm相关.pdf (1.59 MB, 下载次数: 250 ) 回复 1# wlbce

自己收集的一些，不知道有没有帮助

niuli07 · 发表于 2013-8-28 16:21:06

由于随着尺寸的减小，光刻变的越来越困难。为了解决这个问题，我们在刻同一层routing的时候，用两套掩膜板。在GUI 上我们可以看到分别由红色和绿色表示。那我们如何给这一层上的routing 分配掩膜板呢？这要根据lef 里面SAMEMASK rule的定义，如果两条相邻的net之间的距离小于我们这里的定义，那说明这两条net 需要分配到不同的掩膜板，即在GUI 上我们会看到它们会打上不同的颜色。

希望能对你有帮助，如有理解不对的地方，请修正。