为什么smic65nm和55nm的工艺中只有mom电容没有mim电容？

杰少爷非少爷 · 发表于 2019-3-13 21:16:01

回复 8# sl_zhao

有道理。学习了。

ayanzh · 发表于 2019-3-14 15:36:47

学习了

ericking0 · 发表于 2019-4-19 14:47:02

工艺变好，
精度变高，
metal space变小，
mom电容单位面积电容变大，
替换mim电容就是必然的事了，
即使mismatch变搓一点，和省了两层版的成本收益比起来，也是可以接受的了。

344906150 · 发表于 2022-5-19 20:06:47

学习

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