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楼主: l195934605

[求助] 40nm工艺与其他工艺相比版图设计中有哪些不同

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发表于 2013-8-21 17:12:40 | 显示全部楼层
40nm更注重一些效应,WPE、OSE、PSE,match很重要,加DUMMY和不加DUMMY差别较大制程的rule效果比较明显!
发表于 2013-8-28 17:30:04 | 显示全部楼层
进来学习
发表于 2013-8-29 08:51:24 | 显示全部楼层
7#和10#已答。。。
发表于 2013-9-12 22:08:14 | 显示全部楼层
学习学习
发表于 2013-9-17 17:56:45 | 显示全部楼层
关注一下,我目前只知道WPE STI,不知道其它效应,学习中。。。。
发表于 2013-9-24 20:20:52 | 显示全部楼层
进来学习下
发表于 2014-2-24 15:06:55 | 显示全部楼层
any libs
发表于 2014-3-5 16:13:25 | 显示全部楼层
我觉得你要问具体一点的
发表于 2014-3-6 23:28:27 | 显示全部楼层
130nm 往下  wpe 影响 显著增加
90nm往下 lpe 对器件的影响很大 ; DFM  对yield影响较大 : multiple vias    aa、poly 、metal density
  很赞同2楼说的,良好的layout习惯!此外要补充一点:lpe不仅是 好习惯
发表于 2022-11-23 12:54:39 | 显示全部楼层
请问一下一般tsmc的40nm工艺与180nm工艺从失配参数看,哪个更差一些
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