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[求助] 请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal的区别？

发表于 2013-7-16 15:30:42 | 显示全部楼层 |阅读模式

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本帖最后由 wspyl 于 2013-7-16 16:20 编辑

请问TM、TM1、TM2和UTM这几种top metal有什么不一样啊？为什么有的只用一层顶金、有的要用两层顶金？
还有是不是一般只有在RF工艺中画电感时才会用到utm？

求指导啊...

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回复

发表于 2013-7-16 16:49:03 | 显示全部楼层

就是后道工艺不一样，不同薄厚和材质。
RF画电感用utm较多。但是我理解为了走大电流应该也可以用这个。

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